水蒸汽喷射真空泵
一、含义
是利用水蒸汽射流抽气的真空泵，简称喷射泵。具有启动快，工作压力范围宽，抽气量大，能直接排入大气，结构简单，因无运动构件而运行可靠，使用期长等特点。
二、优点
结构简单，体积小，易于维护；性价比高，适用于制造成本敏感的应用；高排气速率，适用于短周期、高速气体排放；免油的设计，不会污染、损坏或影响气体质量。
三、应用
水蒸气喷射真空泵已经广泛应用于航空航天、电子、食品及半导体类行业。具体应用领域包括制造高纯度半导体材料、太空模拟器件和检漏器，以及排放挥发性有机物质等场合。
四、工作原理
利用高速的蒸汽喷射将气体抽出，从而形成真空。有一定压强的工作, 蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速（蒸汽的势能转变为动能）以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压（动通转化为压强能），为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。
连接到生产设备抽及其气体、蒸汽或气体并在泵内压缩到10mmhg左右。继续压缩上述工作介质到70mmhg然后排之气体引往列管冷凝器冷凝。冷凝后的液体进入下部水环泵抽吸，压缩后往大气中。
